MIT OpenCourseWare | Electrical Engineering and Computer Science | 6.152J Microelectronics Processing Technology, Fall 2003 | Home


		หน้าหลักของวิชา


		ประมวลวิชา

		ปฏิทิน

		เอกสารอ่านประกอบ

		เอกสารประกอบการเรียน

		การปฏิบัติการ

		การบ้าน

		ข้อสอบ

6.152J / 3.155J เทคโนโลยีกระบวนการทางไมโครอิเล็กทรอนิกส์ , ฤดูใบไม้ร่วง 2003
6.152J / 3.155J Microelectronics Processing Technology, Fall 2003

A device pad structure, shown with a penny for scale.

โครงสร้างแพดของสิ่งประดิษฐ์, แสดงเทียบกับเหรียญเพนนี (ภาพได้รับความเอื้อเฟื้อจากงานวิจัยการบรรจุภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ราคาต่ำ ศูนย์เทคโนโลยีแหน่งจอร์เจีย; ภาพโดย สแตนเลย์ เอฟ. เลรี (Stanley F. Leary) ห้องสมุดภาพสถาบันวิทยาศาสตร์แห่งชาติ)

จุดเด่นของวิชานี้

วิชานี้มีเว็ปที่ให้ สไลด์ของการบรรยายพร้อมทั้งเอกสารอื่นที่นักศึกษาใช้ในการเรียนของวิชานี้

รายละเอียดของรายวิชา

วิชานี้แนะนำทฤษฎีและเทคโนโลยีของการประดิษฐ์ขนาดไมโคร/นาโนสเกล การบรรยายและการทดลองจะเน้นที่เทคนิคของกระบวนการพื้นฐาน เช่น การแพร่ซึม, การออกซิเดชัน, โฟโตลิโทรกราฟี การปลูกด้วยกระบวนการทางเคมี, และอื่นๆ ด้วยการผ่านงานที่ให้ของการทดลอง นักศึกษาคาดว่าจะเข้าใจเทคนิคของกระบวนการเหล่านี้และการประยุกต์เพื่อการประดิษฐ์สิ่งประดิษฐ์ นึกศึกษาที่ลงทะเบียนวิชานี้จะมีโอกาสที่จะเรียนรู้และทดสอบสิ่งประดิษฐ์ขนาดไมโคร/นาโนโดยใช้เทคโนโลยีและเทคนิคที่ทันสมัย

ทีมผู้สอน

ผู้สอน :
Prof. Martin Schmidt
Dr. Robert O'Handley
Susan Ruff

เวลาเรียน

บรรยาย:
2 ครั้ง / สัปดาห์
1.5 ชั่วโมง / ครั้ง

ระดับการสอน

ปริญญาบัณฑิต